AFM原子力顯微鏡的主要構成可分為五大塊:探針、偏移量偵測器、掃描儀、回饋電路及計算機控制系統(tǒng)。
AFM原子力顯微鏡的探針長度只有幾微米長,一般由懸臂梁及針尖所組成,主要原理是由針尖與測試樣片間的原子作用力,使懸臂梁產(chǎn)生微細位移,以測得表面結構形狀,其中常用的距離控制方式為光束偏折技術。
探針放置于一彈性懸臂(cantilever)末端,一般由Si、SiO2、SiN4、納米碳管等所組成探針,。當探針的和樣品的表面接觸非常近時,它們二者之間會產(chǎn)生一股作用力,其作用力的大小值會隨著探針與樣品間距離的大小變化而變化,使得懸臂發(fā)生彎曲或者偏移,用低功率雷射照射在懸臂末端上,利用感光二極管偵測器(Photodetector)來測量低功率雷射光所反射的角度變化。因此當探針掃描過樣品表面時,反射的雷射光角度也會發(fā)生變化,感光二極管的二極管電流也會隨之不同。再由所測量初的電流變化,推算出懸臂被彎曲或歪移的程度,輸入計算機計算可產(chǎn)生所測樣品表面三維空間影像。
在測量樣品到系統(tǒng)計算出影像的過程中,探針和被測樣品間的距離始終保持在納米量級。距離太大則不能獲取到樣品表面的信息,距離太小則會損傷探針和被測樣品表面;回饋電路的作用就是在工作過程中,由探針得到探針與樣品相互作用的強度,來改變加在樣品掃描器垂直方向的電壓,從而使樣品伸縮,調(diào)節(jié)探針和被測樣品間的距離,反過來控制探針一樣品相互作用的強度,實現(xiàn)反饋控制。因此,反饋控制是本系統(tǒng)的核心工作機制。系統(tǒng)采用數(shù)字反饋控制回路,用戶在控制軟件的參數(shù)工具欄通過參考電流、積分增益和比例增益等幾個參數(shù)的設置對該反饋回路的特性進行控制。
蘇州飛時曼精密儀器有限公司作為自主研發(fā)AFM的原子力顯微鏡廠家,推出的掃描近場光學顯微鏡采用探針收集模式,用于近場光譜及納米分辨成像。
配置清單:
1、激光器:半導體激光器,波長:532nm,( 635nm;800nm、405nm可選;)
2、光學顯微鏡聯(lián)用掃描近場光學顯微鏡系統(tǒng);
3、采用光子計數(shù)器模塊或微光探測光電倍增管模塊,工作波長280nm-870nm;
4、近場探針波長響應范圍優(yōu)于:350-1000nm,探針近場可重復性大于90% ;
5、配備10根孔徑90nm SNOM探針。
主要技術指標:
1、X-Y線性掃描范圍:50umX50um;
2、掃描臺在Z方向的線性移動范圍:5um ;
3、樣品尺寸:小于40mmX40mm;
4、樣品臺水平移動范圍:6mmX6mm;
5、剪切力分辨率: Z方向1nm; XY方向10nm ;
6、光學分辨率:50-100nm,取決于探針質(zhì)量;
7、Z方向步進距離:小于200nm。
原子力顯微鏡系統(tǒng)
1、AFM成像功能包括:接觸式/輕敲模式/側向力模式;
2、樣品掃描范圍:100umx100umx10um(WHD),三維全量程閉環(huán)控制掃描器, xyz非線性度小于0.05%,xy方向掃描精度:0.2nm;z方向掃描精度 0.05nm;
3、數(shù)字化控制系統(tǒng): XY采用18-bit D/A, Z采用16-bitD/A;
4、數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙多路同步采樣。
掃描近場光學 原子力顯微鏡聯(lián)用系統(tǒng):
主要部件:
掃描管:國外進口;
探針:國外進口;
激光器:國外進口;
光子計數(shù)器模塊/微光探測光電倍增管模塊:國外進口;
控制軟件:自主開發(fā)。